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一文了解半導體的曆史、應用、未來 2018-10-15

一、半導體發(fā)展曆史

1、半導體是信息化的基礎

上個世紀半導體大規模集成(chéng)電路、半導體激光器、以及各種(zhǒng)半導體器件的發(fā)明,對(duì)現代信息技術革命起(qǐ)了至關重要的作用,引發(fā)了一場新的全球性産業革命。

信息化是當今世界經(jīng)濟和社會(huì)發(fā)展的大趨勢,信息化水平已成(chéng)爲衡量一個國(guó)家和地區現代化的重要标志。

進(jìn)入21世紀,全世界都(dōu)在加快信息化建設步伐。

源于信息技術革命的需要,半導體物理、材料、器件將(jiāng)有新的更快的發(fā)展。

集成(chéng)電路的尺寸將(jiāng)越來越小,將(jiāng)出現新的量子效應器件;寬禁帶半導體代表了一個新的方向(xiàng),將(jiāng)在短波長(cháng)激光器、白光發(fā)光管、高頻大功率器件等方面(miàn)有廣闊的應用;納米電子器件有可能(néng)作爲下一代的半導體微電子和光電子器件;利用單電子、單光子和自旋器件作爲量子調控,將(jiāng)在量子計算和量子通信的實用化中起(qǐ)關鍵作用。

2、晶體管的發(fā)明

1945年二次大戰結束時(shí),美國(guó)貝爾實驗室總裁巴克萊爲了适應該室從戰時(shí)轉向(xiàng)和平時(shí)期的工作需要,決定成(chéng)立固體物理組,由肖克萊負責半導體物理小組,成(chéng)員有巴丁、布拉頓、吉布尼、穆爾等人。

肖克萊和巴丁是理論物理學(xué)家,布拉頓是實驗物理學(xué)家,吉布尼是物理化學(xué)家,穆爾是電路學(xué)家,這(zhè)種(zhǒng)專業人才的搭配對(duì)于半導體物理研究和晶體管的發(fā)明是個黃金搭配,精幹而高效。他們根據各自在30年代中期以後(hòu)的經(jīng)驗和後(hòu)來的考慮,從剛開(kāi)始成(chéng)立時(shí),就(jiù)把重點放在半導體材料矽和鍺的研究上。

第二次世界大戰期間,英國(guó)用雷達偵察到了德國(guó)的轟炸機。雷達的核心就(jiù)是真空電子管,它能(néng)夠將(jiāng)微弱電流放大。肖克萊早在1939年就(jiù)準備制作能(néng)夠將(jiāng)電流放大的固體器件,以便取代真空電子管。1947年12月,巴丁和布拉頓制成(chéng)了世界上第一個鍺點接觸型三極管,具有電流放大作用。

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巴丁和布拉頓的結果在1948年6月發(fā)表。點接觸晶體管的發(fā)明雖然揭開(kāi)了晶體管大發(fā)展的序幕,但由于它的結構複雜,性能(néng)差,體積大和難以制造等缺點,沒(méi)有得到工業界的推廣和應用,在社會(huì)上引起(qǐ)的反響不夠強烈。

1948年1月肖克萊在自己研究p-n結理論的基礎上發(fā)明了另一種(zhǒng)面(miàn)結型晶體管,并于1948年6月取得了專利。面(miàn)結型晶體管又稱場效應晶體管,它是平面(miàn)狀的(見圖3),可以通過(guò)一些平面(miàn)工藝(如擴散、掩膜等)進(jìn)行大規模生産。因此隻有在面(miàn)結型晶體管發(fā)明以後(hòu),晶體管的優越性才很好(hǎo)地被(bèi)人認識,逐漸取代了真空電子管。

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由于巴丁、布拉頓和肖克萊在晶體管和結型晶體管發(fā)明上的貢獻,在1956年獲得了諾貝爾物理獎。作爲半導體晶體管的第一個應用就(jiù)是索尼公司的便攜式收音機,風靡全球,賺了大錢。

3、集成(chéng)電路的發(fā)明

晶體管收音機比電子管收音機小多了,可以随身攜帶。但它是由晶體管、電阻、電容、磁性天線焊在一塊電路闆上,相互之間由導線相連。體積還(hái)比較大,裝配工藝複雜。

1958年美國(guó)政府設立了晶體管電路小型化基金,以便适應美國(guó)爲趕超前蘇聯發(fā)射的第一顆人造衛星的需要。那時(shí),德克薩斯公司的基爾比承擔了這(zhè)一任務,試圖制造將(jiāng)晶體管、電阻器和電容器等包裝在一起(qǐ)的小型化電路。

1958年9月基爾比制成(chéng)了世界上第一個集成(chéng)電路振蕩器,這(zhè)一切都(dōu)記載在他當天的筆記中。基爾比發(fā)明的集成(chéng)電路在1959年2月取得了專利權,名稱爲“小型化電子電路”。

與此同時(shí),美國(guó)加州菲切爾德(仙童)半導體公司的諾伊斯提出了用鋁連接晶體管的想法。在基爾比發(fā)明集成(chéng)電路5個月以後(hòu),即1959年2月,他采用霍爾尼提出的平面(miàn)晶體管方法,在整個矽片上生成(chéng)SiO2掩膜,應用光刻技術按模闆刻成(chéng)窗口和引線通路,通過(guò)窗口擴散雜質,構成(chéng)基極、發(fā)射極和集電極,將(jiāng)金或鋁蒸發(fā),因而制成(chéng)集成(chéng)電路。1959年7月諾伊斯的集成(chéng)電路取得了專利權,名稱爲“半導體器件與引線結構”。從此集成(chéng)電路走上了大規模發(fā)展的新時(shí)期。

4、太陽能(néng)電池的發(fā)明

爲了人造衛星的需要,1954年皮爾森和富勒利用磷和硼的擴散技術制成(chéng)了大面(miàn)積的矽p-n結太陽能(néng)電池,光電轉換效率達6%以上,超過(guò)了過(guò)去最好(hǎo)的太陽能(néng)轉換效率的15倍。它的制作成(chéng)本低廉,可以批量生産,因此很快得到了大規模的應用。

太陽能(néng)電池的工作原理是光生伏特效應。當光照射在半導體上時(shí),在半導體中産生電子-空穴對(duì)。如果接通外電路,就(jiù)會(huì)有電流通過(guò),這(zhè)就(jiù)是光生伏特效應。

太陽能(néng)電池的商業應用開(kāi)始于1958年,它被(bèi)選用爲美國(guó)第一個人造衛星Vanguard I的無線電發(fā)射機的電源。當前能(néng)源危機下,太陽能(néng)電池作爲一種(zhǒng)再生和無污染電源引起(qǐ)了人們極大的注意。

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5、半導體激光器的發(fā)明

半導體發(fā)光管和激光器的工作原理和太陽能(néng)電池正好(hǎo)相反:太陽能(néng)電池是用光産生電,而發(fā)光管、激光器則用電産生光。用電流將(jiāng)電子和空穴分别引入半導體的導帶和價帶。電子和空穴複合,産生光子。

1962年美國(guó)霍爾用p-n同質結制成(chéng)了第一個半導體激光器。産生激光必須滿足3個條件:粒子數的反轉分布、諧振腔和電流超過(guò)一定阈值。

1963年美國(guó)的克勒默和蘇聯的阿爾費羅夫各自獨立地制成(chéng)了異質結激光器,也就(jiù)是在圖8中,結區用一種(zhǒng)禁帶寬度小的材料,如Ga[**]s;兩(liǎng)邊的p區和n區用另一種(zhǒng)禁帶寬度大的材料,如[**]lxGa1-x[**]s。這(zhè)樣(yàng),發(fā)光區域被(bèi)限制在窄小結區中。

因此大大提高了發(fā)光效率,降低了激光器的阈值電流。1970年蘇聯的約飛研究所和美國(guó)的貝爾實驗室分别制成(chéng)了室溫下連續工作的雙異質結激光器,從而使半導體激光器在光通信中得到了廣泛的應用。

由于克勒默和阿爾費羅夫在發(fā)展半導體激光器方面(miàn)的重要貢獻,他們在2000年和集成(chéng)電路發(fā)明者基爾比一起(qǐ)獲得了諾貝爾物理獎。矽大規模集成(chéng)電路和半導體激光器的發(fā)明使得世界進(jìn)入了一個以微電子和光電子技術爲基礎的信息時(shí)代,大大促進(jìn)了社會(huì)和經(jīng)濟的發(fā)展。

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6、分子束外延技術的發(fā)明

制造雙異質結激光器的一個關鍵技術是分子束外延。1968年貝爾實驗室的卓以和發(fā)現,在超高真空容器中通過(guò)精細控制束流的大小和時(shí)間,能(néng)夠按照需要生長(cháng)不同層數、不同種(zhǒng)類的半導體材料,因而發(fā)明了分子束外延技術。分子束外延設備的示意圖見圖11。

裝置内部處于超高真空條件下(10-10torr),蒸發(fā)爐内裝有原材料元素(如Ga、[**]s、[**]l等)的源。前面(miàn)是可以控制的擋闆,打開(kāi)擋闆,將(jiāng)被(bèi)蒸發(fā)的源原子直射至加熱的襯底上進(jìn)行外延生長(cháng)。目前用這(zhè)種(zhǒng)技術已經(jīng)能(néng)做到單原子層的生長(cháng)。裝置周圍是一些檢測儀器,用以監控生長(cháng)過(guò)程。

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二、半導體技術的應用

1、大規模集成(chéng)電路和計算機

大規模集成(chéng)電路爲計算機、網絡的發(fā)展打下了基礎。按照摩爾定律,集成(chéng)電路的集成(chéng)度以每18個月翻一番的速度發(fā)展,最近它的線度已達到幾十納米(毫米、微米、納米),每一個芯片上包含了上百億個元件。

計算機科學(xué)已經(jīng)發(fā)展到很高水平,無論是計算機的硬件還(hái)是軟件都(dōu)已十分成(chéng)熟,每秒萬億次甚至更高速度的計算機(天河:2000萬億次,世界第二)都(dōu)已問世,這(zhè)爲各種(zhǒng)高速運算、海量信息處理和轉換提供了有力的工具。

自從1943年計算機誕生以來,由于集成(chéng)電路的發(fā)明,計算機向(xiàng)著(zhe)高運算速度、體積小型化方向(xiàng)飛速發(fā)展。目前世界主要發(fā)達國(guó)家和中國(guó)都(dōu)已擁有百萬億次以上浮點運算的大型計算機。中國(guó)制造和擁有這(zhè)種(zhǒng)超級計算機的數量在世界上據第二位,僅次于美國(guó)。

這(zhè)種(zhǒng)超級計算機能(néng)用于分析蛋白質、開(kāi)發(fā)新藥等,在軍事(shì)上可用于模拟核爆炸、解密碼等。需要說明的是制造這(zhè)種(zhǒng)計算機所需的大規模集成(chéng)電路中國(guó)還(hái)很落後(hòu),大部分還(hái)需進(jìn)口。

2、光通信技術

以前長(cháng)距離通信靠長(cháng)途電話或電報。因爲通話數目少,價錢很貴。1966年英國(guó)标準通信實驗室的高锟(K. C. Kao)提出用無雜質高透明度的玻璃纖維傳輸激光信号。如果它的損耗能(néng)低到20分貝/公裡(lǐ),則就(jiù)能(néng)實現長(cháng)距離光通信。

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1970年紐約康甯玻璃廠的毛瑞爾(R. D. Maurer)等用“澱積工藝”將(jiāng)四氯化矽蒸氣經(jīng)過(guò)火焰水解,制成(chéng)密實的玻璃管,再加熱後(hòu)通過(guò)模子拉制成(chéng)細的玻璃纖維。低損耗的玻璃纖維的誕生是光通信技術的裡(lǐ)程碑進(jìn)展。

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1976年美國(guó)貝爾實驗室在亞特蘭大進(jìn)行了第一次光通信實地實驗,取得了很好(hǎo)的效果。光纖的平均功率損耗爲6分貝/公裡(lǐ),無差錯傳輸信息超過(guò)10.9公裡(lǐ),相當于通過(guò)光纖環路17周。1976年12月貝爾實驗室宣布:光波通信通過(guò)了它的首次檢驗,光波通信的可能(néng)性已經(jīng)得到證明。從此宣告了光通信時(shí)代的來臨,并預示著(zhe)微電子時(shí)代向(xiàng)光電子時(shí)代的序幕正式揭開(kāi)了。

今天,電信網絡、計算機網絡和有線電視網絡已經(jīng)成(chéng)爲一個國(guó)家重要基礎設施,所有政治、經(jīng)濟、軍事(shì)、科技活動以至人們日常生活時(shí)刻都(dōu)離不開(kāi)這(zhè)三網。我國(guó)現有電話用戶8億5千萬,其中移動手機用戶4億8千萬,是世界上最大的電信網絡。計算機上網用戶已達1.37億,有線電視用戶達1.3億,占世界三分之一。

將(jiāng)來的趨勢是三網合一。現在的手機上網已經(jīng)很普遍了,這(zhè)方面(miàn)美國(guó)的蘋果公司走在了前面(miàn)。

光有不同的顔色和波長(cháng)。不是所有顔色的光都(dōu)能(néng)在光纖中傳播。

光纖的損耗分别在1450-1550nm和1250-1350nm處具有最低值和次低值,因此是光纖通信的2個主要窗口。爲了讓一根光纖能(néng)傳播盡量多的信息通道(dào),采用了波分複用的光通信系統,就(jiù)是把這(zhè)2個波段劃分成(chéng)很窄的波長(cháng),每個波長(cháng)形成(chéng)一定的通信容量。將(jiāng)不同波長(cháng)的信号通過(guò)一根光纖傳至對(duì)方,再經(jīng)過(guò)解複用,由光檢測器恢複原來以不同波長(cháng)傳遞的電信号。由于光信号在傳遞中會(huì)逐步衰減,爲了達到長(cháng)距離傳輸的目的,每隔一定距離需要通過(guò)摻铒光纖放大器將(jiāng)其信号放大。

3、無線通信技術(手機)

無線通信的基礎是蜂窩式移動電話,它的早期制式是貝爾實驗室在1978年推出的“先進(jìn)移動電話服務”系統([**]MPS)。該系統是將(jiāng)服務的區域分成(chéng)許多小的六角形的地理區域(cell),就(jiù)像蜂窩一樣(yàng)(見圖19)。每個小區内有低功率的無線電話發(fā)射器、接收器和一個控制系統,形成(chéng)一個基站。

各服務區的基站通過(guò)光纖連接到中央交換實體(移動電話局),該實體裝有電子交換系統。基站網絡追蹤移動終端的位置,當移動終端到達另一小區時(shí)能(néng)自動與鄰近的基站重建聯系,以便繼續通話。由于小區内的無線通話功率低,隻影響限定的範圍,因而與别的小區的通信信号不會(huì)産生幹擾。

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第一個[**]MPS系統在1979年7月在芝加哥試驗成(chéng)功。1992年4月,[**]T&T公司微電子集團宣布制成(chéng)新一代數字蜂窩電話的集成(chéng)電路芯片,使該公司成(chéng)爲移動通信數字信号處理元件的領先供應者。這(zhè)種(zhǒng)數字信号處理器構成(chéng)DSP1600系列,它使手機的體積和功率大大減小,在市場上大受用戶歡迎。

除了手機通信以外,還(hái)有其它的無線通信手段(見圖20),包括:衛星傳輸高清晰度電視、衛星間通訊、多點視頻通訊、無線局域網、交通工具之間的通訊、以及防撞雷達等。它們的工作頻率在微波波段,從幾個GHz到100GHz。

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各種(zhǒng)無線通信及其工作頻率。波段從微米到毫米波段,頻率爲20-80 GHz。

無線通訊中最關鍵的器件是半導體高頻振蕩器件,目前有2種(zhǒng):高電子遷移率晶體管(HEMT)和異質結雙極晶體管(HBT)。它們實際上就(jiù)是典型的三極管,但由于利用分子束外延技術,n-p-n每一層都(dōu)可以做得很薄,縮小了電子運動的路徑,具有高的截止頻率fT。目前這(zhè)兩(liǎng)種(zhǒng)器件的截止頻率都(dōu)已達到了100GHz以上,滿足了無線通信的需要。

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npn型雙極晶體管截面(miàn)圖

4、半導體太陽電池——太陽電池用矽材料

太陽電池用矽材料主要包括:直拉矽單晶、非晶矽、帶狀矽和薄膜多晶矽,這(zhè)些材料在實驗室和産業中制成(chéng)的太陽電池的效率如圖22。

目前鑄造多晶矽占太陽能(néng)電池材料的47.54%,是最主要的太陽電池材料。到2004年,鑄造多晶矽的市場份額已經(jīng)超過(guò)53%。直拉單晶矽占35.17%,占據第二位,而非晶矽薄膜占8.3%,位于第三位,而化合物半導體CuInSe和CdTe僅占0.6%。

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不同的半導體材料在實驗室和産業中制成(chéng)的太陽電池效率

5、半導體太陽電池——多晶矽太陽電池

直到上世紀90年代,太陽能(néng)光伏工業還(hái)是主要建立在矽單晶的基礎上。雖然矽單晶電池的成(chéng)本在不斷下降,但是和常規電力相比還(hái)是缺乏競争力,因此,不斷降低成(chéng)本是光伏界追求的目标。

自上世紀80年代鑄造多晶矽 的發(fā)明和應用以來,增長(cháng)迅速。它以相對(duì)低成(chéng)本、高效率的優勢不斷擠占單晶矽的市場,成(chéng)爲最有競争力的太陽電池材料,到本世紀初,已占到50%以上,已經(jīng)成(chéng)爲最主要的太陽電池材料。

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鑄造多晶矽矽片的表面(miàn)光學(xué)照片

到目前爲止,鑄造多晶矽的晶錠重量已經(jīng)達到300 kg,太陽電池片的尺寸達到210×210 mm2。到本世紀初,多晶矽太陽電池的效率達到20.3%。在實際生産中,鑄造多晶矽太陽電池的最高效率也達到17.7%左右,接近直拉矽單晶太陽電池的光電轉換效率。

6、半導體太陽電池——非晶矽薄膜太陽電池

今日非晶矽薄膜太陽電池已發(fā)展成(chéng)爲實用廉價的太陽電池品種(zhǒng)之一,具有相當的工業規模。世界上非晶矽太陽電池的總組件生産能(néng)力達到每年50MW以上,組件及相關産品的銷售額在10億美元以上。應用範圍小到手表、計算器電源,大到10MW級的獨立電站,對(duì)太陽能(néng)光伏的發(fā)展起(qǐ)了重要的推動作用。

和晶體矽相比,非晶矽薄膜具有制備工藝簡單、成(chéng)本低和可大面(miàn)積連續生産的優點。在太陽電池領域,其優點具體表現爲:

(1)材料和制造工藝成(chéng)本低。這(zhè)是因爲非晶矽薄膜太陽電池是制備在廉價的襯底材料上,如玻璃、不鏽鋼、塑料等,其價格低廉;而且,非晶矽薄膜僅有數千埃厚度,不足晶體矽電池厚度的百分之一,這(zhè)也大大降低了矽原材料的成(chéng)本;進(jìn)一步而言,非晶矽制備是在低溫進(jìn)行,其沉積溫度爲100℃~300℃,顯然,規模生産的能(néng)耗小,可以大幅度降低成(chéng)本。

(2)易于形成(chéng)大規模生産能(néng)力。

(3)多品種(zhǒng)和多用途。

(4)易實現柔性電池。非晶矽可以制備在柔性的襯底上,而且它的矽網結構力學(xué)性能(néng)特殊,因此,它可以制備成(chéng)輕型、柔性太陽電池,易于和建築集成(chéng),以及各種(zhǒng)日常用品。

但是,和晶體矽相比,非晶矽太陽電池的效率相對(duì)較低,在實驗室電池的穩定的最高轉換效率隻有16%左右;在實際生産線上,效率不超過(guò)10%;而且,非晶矽太陽電池的光電轉化效率在太陽光的長(cháng)期照射下有嚴重地衰減,到目前爲止仍然沒(méi)有根本解決。

另外,還(hái)有軍事(shì)和衛星用的化合物太陽能(néng)疊層電池。

7、半導體白光照明

➤1.發(fā)展半導體白光照明意義

氮化镓發(fā)光管(LED)是一種(zhǒng)高效長(cháng)壽命的固态照明光源。白熾燈、熒光燈是目前面(miàn)廣量大的傳統白光照明光源。白熾燈是一種(zhǒng)熱光(色溫2800K),含有大量的紅外線,工作壽命短,發(fā)光效率低,而熒光燈則是一種(zhǒng)冷光,高效率,但壽命短,有毒(含汞)。與傳統的白熾燈和熒光燈相比,氮化镓發(fā)光管是一種(zhǒng)具有體積小、重量輕、電壓低、效率高、壽命長(cháng)等特點的固态照明冷光源,因此是一種(zhǒng)節能(néng)、綠色照明光源。

氮化镓LED目前已經(jīng)用在許多場合:景觀燈、交通燈、汽車尾燈、大屏幕顯示燈。

能(néng)源是經(jīng)濟、社會(huì)可持續發(fā)展不可缺少的要素,節約能(néng)源、提高能(néng)效是可持續發(fā)展能(néng)源的重大戰略。據統計,全世界“照明”耗能(néng)約占總電功率的20%。由于LED高效發(fā)光,LED白光照明可節省大量的發(fā)電煤和原油使用量,全球每年可減少25億噸CO2排放量。

因此,氮化镓LED白光照明具有巨大的市場前景,將(jiāng)來成(chéng)本和效率問題解決以後(hòu),可代替目前廣泛使用的白熾燈和熒光燈,引發(fā)一次白光照明技術革命。國(guó)際上把半導體照明光源中期目标(5-10年内)定爲>100 lm/W,2020年達到200 lm/W或300 lm/W,這(zhè)樣(yàng)就(jiù)可替代傳統照明。

➤2.氮化镓LED白光照明的技術途徑

衆所周知,由紅(Red)、綠(Green)、藍(Blue)三基色可合成(chéng)白光,如圖24所示。該圖爲1931色度圖,三角形中央虛線區爲白光區。氮化镓LED一般隻能(néng)發(fā)出一種(zhǒng)顔色的光。白光照明也要通過(guò)RGB三基色的合成(chéng)來實現。RGB三基色可以直接靠LED發(fā)射三基色光,也可用LED去激發(fā)熒光物質,通過(guò)二次光轉換獲得三基色光或準三基色光。

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所以,實現氮化镓LED白光照明有兩(liǎng)種(zhǒng)技術途徑:一種(zhǒng)是利用氮化镓發(fā)光二極管(LED)去激發(fā)熒光物質轉換成(chéng)白光,可稱作爲“二次光轉換白光技術”;另一種(zhǒng)是利用LED直接發(fā)射白光,可稱作爲“直接發(fā)射白光技術”。

➤3. LED白光照明技術發(fā)展方向(xiàng)

(1)研究發(fā)展近紫外、深紫外LED器件,實現高顯色指數的“固體白光熒光燈”。這(zhè)種(zhǒng)白光技術具有顯色指數高(CRI>90)、轉換效率高(外量子效率43%),色彩重現性高等特點,是一種(zhǒng)較理想的白光源。

(2)研究發(fā)展III族氮化物LED直接發(fā)射白光技術

(3)研究提高LED發(fā)光效率、光通量,發(fā)展功率型LED其器件

傳統白熾燈發(fā)光效率爲16 lm/W,熒光燈發(fā)光效率爲85 lm/W,因此,Ⅲ族氮化物LED白光照明光源要替代白熾燈和熒光燈,其發(fā)光效率至少要超過(guò)100 lm/W,同時(shí)要降低成(chéng)本。

8、光盤存儲和激光測距、激光打印、激光儀器

光盤存儲和激光測距、激光打印、激光儀器等是半導體激光器的另一重大應用領域。CD盤(隻讀聲盤)、DVD(數值可視盤)所用的激光器波長(cháng)分别爲780nm和670nm、650nm,由激光器將(jiāng)信息“寫”入光盤或者從光盤上“讀”出聲音或光信号。激光器的波長(cháng)越短,光盤存儲密度就(jiù)越高。波長(cháng)爲410nm的InGaN激光器可以將(jiāng)光盤的存儲量再提高一大步。波長(cháng)爲670-630nm的InGa[**]lP激光器已在許多場合取代了He-Ne激光器,在激光測距、激光打印、激光醫療儀器中得到了重要的應用。

9、半導體激光器的軍事(shì)應用

波長(cháng)爲808nm的[**]lGa[**]s大功率激光器是大功率Y[**]G(摻钇鋁石榴石)固體激光器的泵浦光源,代替了原來的氙氣激光器,取消了龐大的電源和冷卻系統,使固體激光器變得高效率、小體積、高性能(néng)、長(cháng)壽命、低成(chéng)本,适合于軍事(shì)應用,例如激光雷達和核爆炸模拟、核聚變研究。水下光傳播的窗口爲590nm,藍綠光激光器的誕生爲水下通信開(kāi)了綠燈。火箭、飛機飛行過(guò)程中掌握方向(xiàng)的光纖陀螺中最關鍵的器件是半導體超輻射發(fā)光二極管。

10、環境保護

大自然中,水汽、甲烷、氨氣、二氧化碳、一氧化碳、鹽酸、溴酸、硫化氫等氣體的靈敏吸收峰在1.5-2.0mm範圍。In[**]sSb或GaIn[**]sSb應變量子阱激光器的波長(cháng)可達1.0-4.0mm範圍,近年來出現的量子級聯激光器的波長(cháng)可達4.0-17mm。這(zhè)些覆蓋了紅外-遠紅外範圍的各類激光,構成(chéng)了大氣監控、監測的環保衛士。

三、半導體技術的未來發(fā)展

1、信息技術的革命

信息傳輸。信息量的爆炸式的增加,對(duì)信息通道(dào)的容量要求越來越大。在網上傳遞的不僅是文字、而且還(hái)有音樂、圖像、電視信号等;不僅是有線,還(hái)需要無線;不僅是洲際、國(guó)際、城際,而且需要局域網。爲此需要發(fā)展新的通信系統,如綜合業務數字網絡(ISDN)以及多媒體技術等。

信息處理,包括文本處理、知識處理、圖像處理以及語言識别、圖像識别、智能(néng)化處理等。人工智能(néng)就(jiù)是通過(guò)計算機實現了某些人的智能(néng)。例如:理解和發(fā)出語言、識别圖像、作數學(xué)證明、下棋、音樂作曲、進(jìn)行專業鑒定、醫學(xué)診斷等。計算機將(jiāng)把人們從一部分日常的腦力勞動中解放出來,并且通過(guò)應用“思維工具”把人們的智慧擴大到以前不可想象的程度。

2、更高的集成(chéng)度

世界集成(chéng)電路主流工藝將(jiāng)經(jīng)過(guò):2007年的65納米(集成(chéng)電路線寬)、2010年的45納米、2013年的33納米、以及2016年的22納米工業化生産的4個發(fā)展階段。爲此,就(jiù)必須解決一系列的關鍵技術和專用設備,如:新型器件的研發(fā)(非傳統CMOS器件、新型存儲器、邏輯器件等),IC設計、封裝、和測試技術,新型光刻機、刻蝕機等配套設備等。

半導體器件的尺寸不能(néng)無限制地減小,如果器件尺寸小到電子的德波羅依波長(cháng)(10納米),量子效應將(jiāng)會(huì)更加明顯,這(zhè)時(shí)需要設計建立在量子力學(xué)原理基礎上的新型半導體器件。

3、半導體光電器件

半導體光電器件向(xiàng)更長(cháng)和更短波長(cháng)、更大功率、更高工作頻率的方向(xiàng)發(fā)展

大功率激光器列陣分準連續(QCW)器件與連續(CW)器件,它們除了作固體激光器的泵浦源外,還(hái)可直接用作材料加工、醫療、儀器、敏感技術、印刷制版等,進(jìn)入傳統中由非半導體激光器主宰的市場,代替氣體、固體激光器。[**]lGaN/GaN異質結雙極晶體管具有線性好(hǎo)、電流容量大、阈值電流均勻等優點,主要應用在線性度要求高、工作環境苛刻的大功率微波系統中,如軍用雷達、通信等;還(hái)可應用于在苛刻環境下工作的智能(néng)機器人等系統中。

4、集成(chéng)光學(xué)和集成(chéng)光電子學(xué)

由集成(chéng)在半導體薄膜上的激光器、調制器、波導、光栅、棱鏡和其它無源光學(xué)元件構成(chéng)的系統叫(jiào)做集成(chéng)光學(xué)系統。集成(chéng)光學(xué)系統用光互連代替電互連,在計算機和通信系統中具有通帶寬、信息量大、損耗小、速度快、能(néng)并行處理、抗電磁幹擾等優點。矽材料的成(chéng)本低廉、工藝成(chéng)熟,在微電子器件中得到廣泛應用。但是由于它是間接帶隙材料,不能(néng)作發(fā)光器件。目前科學(xué)家們正在解決光源的問題,以便在矽材料上做到光電集成(chéng)。

5、半導體超晶格和量子線、量子點器件

半導體超晶格、量子線、量子點是低維結構,它們具有一些特殊的物理性質,如量子限制效應和電子運動的二維或一維特性,可以制成(chéng)一些性能(néng)優異的器件,如:激光器、高電子遷移率器件、光雙穩器件、共振隧穿器件等。當器件的尺寸、維度進(jìn)一步減小,使得電子運動的平均自由程大于器件的尺寸時(shí),電子在運動過(guò)程中將(jiāng)不受雜質、晶格振動等的散射,而作一種(zhǒng)相幹波運動。

利用這(zhè)些特點預計可制造出超高速、超低電能(néng)的電子器件。例如量子點單電子晶體管將(jiāng)使動态随機存儲器(DR[**]M)的功耗大大降低。

6、半導體量子信息器件

目前的工藝已經(jīng)能(néng)在半導體量子點上産生和探測單個光子,使得半導體量子點成(chéng)爲實現量子信息處理(量子計算、量子通信)最有希望的固體器件。量子信息科學(xué)技術的迅速發(fā)展,爲精密測量、量子計算和保密通訊等領域都(dōu)提供了全新的革命性的理論和實驗方法。量子信息最關鍵的是利用光子的相幹性。

光子作爲量子理論中最基本的量子化實體,能(néng)夠很容易地實現收集、傳遞、複制、存儲和處理信息的全過(guò)程,具有作爲量子通訊、量子計算載體的獨特的先天優勢。因此基于光子過(guò)程的量子信息處理器件是各種(zhǒng)量子信息工程的基礎,它的基本原理研究和制備必將(jiāng)爲計算科學(xué)和通訊能(néng)力帶來飛越式的發(fā)展。

7、自旋電子器件

目前微電子器件是應用載流子電荷攜帶信息。如果一種(zhǒng)材料能(néng)同時(shí)利用載流子的電荷和自旋屬性作爲信息的載體,將(jiāng)可以制造出具有非揮發(fā)、低功耗、高速和高集成(chéng)度的優點的器件,甚至有可能(néng)引起(qǐ)電子信息科學(xué)重大的變革。摻磁性離子的稀磁半導體及自旋電子學(xué)(Spintronics)即應此要求而生。

實驗發(fā)現,半導體中自旋相幹時(shí)間已經(jīng)達到ns量級,遠遠超過(guò)電荷的相幹時(shí)間,預示著(zhe)自旋電子學(xué)在未來量子計算和量子通信中的重要應用前景。實現自旋爲基的量子計算機的主要困難是精确控制和保持自旋相幹,因此如何産生自旋相幹電子态,以及減小自旋退相幹有許多物理問題需要研究和解決。

來源:中科院半導體所


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